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기체용 질량 유량계 MFC VIC-D200 Series (아날로그, 디지털타입)
엔에프시스템
제품특징 FTPE Seal 적용 가능한 제품으로 독성 인화성 가스에 최적화된 밸브 구조를 실현전구간 신속한 응답속도높은 정확도 및 신뢰성LED 탑재로 제어상태확인가능독성, 인화성 가스에 최적화된 밸브구조
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기체용 질량 유량계 MFC TSC-100 Series (아날로그타입)
제품특징 대용량 정밀제어, 반도체, 화학 등 제조 공정에 필요한 정밀 유량 제어빠른 응답성 및 향상된 안정성높은 정확도 및 반복성제어회로의 최적화외부 전자파 차단 효과 우수
기체용 질량 유량계 MFC TSC-D200 Series(디지털타입)
제품특징 Digital type으로 구성된 제어회로를 사용하여 빠른 응답 속도와 높은 정확도 실현실시간 제어 및 진단 가능전 구간 신속한 응답속도높은 정확도 및 안정성RS485 통신으로 편리하게 시스템 구성 가능
기체용 질량 유량계 MFC-TSC Series TSC-D245(디지털타입), TSC-245(아날로그타입)
제품특징 MFC 실시간 제어전 구간 신속한 반응 속도높은 정확도 및 안전성장비 구성시 비용 절감 효과LED 탑재로 재어상태 확인 가능(Digital)
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기체용 질량 유량계 MFC TSC-D100 Series(디지털타입)
제품특징 Analog MFC에 비하여 응답 특성과 안정성이 우수하며, 전 구간에 대한 신속한 동작속도로 보다 정밀한 제어가 가능실시간 제어 및 진단 가능전 구간 신속한 응답속도높은 정확도 및 안정성RS485 통신으로 편리하게 시스템 구성 가능
기체용 질량 유량계 MFC-TSC Series TSC-200/230 (아날로그타입)
제품특징 Analog 방식으로 입/출력 신호 0~5V , 4~20mA 제공다양한 산업의 대응 가능높은 안정성 및 정확도독성 및 부식성 가스에 대응 가능한 구조 실현
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